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QYL-6/-8 中端探針臺(tái)
QYL-6/-8 中端探針臺(tái)

QYL-6/-8 中端探針臺(tái)

QYL-中端系列探針臺(tái)可兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng) ； 可升級(jí)做射頻，大電流方面的測(cè)試和激光修復(fù)應(yīng)用。
特點(diǎn)/應(yīng)用

◆ 滿足I-V/C-V，PIV測(cè)試，光電測(cè)試等.

 

◆ 最大可用于8英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

 

◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)

 

◆ 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)

 

◆ 可升級(jí)做射頻，大電流方面的測(cè)試和激光修復(fù)應(yīng)用

 如有特殊測(cè)試需求，請(qǐng)聯(lián)系我司客服確認(rèn)！

主要參數(shù)
中端探針臺(tái)主要參數(shù)
組件項(xiàng)目型號(hào)
QYL-6QYL-8
臺(tái)體Chuck尺寸6英寸8英寸
快速抽拉行程：230mm
水平旋轉(zhuǎn)可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
X-Y移動(dòng)行程6英寸*6英寸
X-Y移動(dòng)精度10um/lum
樣品固定真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái)最多可放置6個(gè)探針座
背電極測(cè)試樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
顯微鏡顯微鏡類型單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率16X-100X/20X-4000X
移動(dòng)行程X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm
光源外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素
探針座X-Y-Z移動(dòng)行程12mm*12mm*12mm
移動(dòng)精度10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um
吸附方式磁力吸附/真空吸附
探針夾具線纜同軸線/三軸線/射頻線
漏電精度10pA/100fA/10fA
固定探針彈簧固定/管狀固定
接頭類型BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口
探針DC針尖直徑0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RF探針頻率40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz
材質(zhì)鎢鋼/鈹銅/鍍鎳
外形580mm長(zhǎng)*480mm寬*600mm高
重量約60千克
可選附件加熱臺(tái)屏蔽箱高壓測(cè)試配件
鍍金卡盤防震桌激光系統(tǒng)
射頻測(cè)試配件光電測(cè)試配件探針卡夾具
根據(jù)客戶要求定制