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QYH-8-D雙面探針臺

QYH-8-D雙面探針臺

QYH-8-D雙面點針探針臺可用于晶圓和PCB板測試，用于需要正面和背面同時扎針的使用場景，該探針臺具有優(yōu)良的機械系統(tǒng)，穩(wěn)定的結構，符合人體工程學，以及多項升級功能。可廣泛應用于集成電路、Wafer 、 LED、LCD、太陽能電池等行業(yè)的制造和研究領域。
特點/應用

 

◆ 用于需要正面和背面同時扎針的使用場景；

 

◆ 同軸絲杠傳動結構，線性移動

 

◆ 大手柄驅動，操作舒適，無回程差設計

 

◆ 針座平臺快速、微調升降功能

 

◆ 可搭配多種類型顯微鏡；

 

◆ 集成電路、Wafer ， LED、LCD、太陽能電池等行業(yè)測試；

 

◆ 結構模塊化設計，可無縫升級

 

◆ 探針臺可根據(jù)客戶要求定制。

主要參數(shù)
雙面針臺主要參數(shù)
型號：QYH-8-D
組件項目特性和參數(shù)
臺體Chuck尺寸8英寸
快速抽拉行程：120mm
水平旋轉卡盤可以360°旋轉，細調精度不大于0.1°,帶有鎖定旋鈕
XY移動行程8英寸*8英寸
XY移動精度10um/lum可選
樣品固定樣品夾定，尺寸可調；
雙面點針平臺氣動升降平臺升起為雙平臺，落下可做單平臺使用
平臺針座數(shù)量單平臺最多放置8個CB-200針座
卡盤結構普通/高溫/帶背電極等結構卡可選擇
背電極測試樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極
溫控系統(tǒng)溫度范圍室溫~300℃(400℃,500℃可選)
溫控精度0.1℃
溫控穩(wěn)定性士1℃
溫控傳感器100 Ω鉑電阻傳感器
正面光學系統(tǒng)CCD200W/500W/1200W像素可選(正反面)
顯微鏡類型單筒/體視/金相顯微鏡可選
放大倍率16X-100X/20X-2000X
顯微鏡調節(jié)水平方向繞立柱旋轉X-Y移動2*2英寸，Z軸行程50.8mm
光源外置LED環(huán)形光源/同軸光源
背面光學系統(tǒng)顯微鏡類型L型單筒顯微鏡
連續(xù)變倍比6.3:1
放大倍率范圍0.75-5X
放大倍率315X(計算公式：變焦*CCD*顯示器)
顯微鏡調節(jié)微調行程：15*15mm;粗調行程100mm
光源同軸光源
探針座X-Y-Z移動行程12mm*12mm*12mm
移動精度10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um
吸附方式磁力吸附/真空吸附
DC調節(jié)點測角度0-30°
RF調節(jié)角度多點探頭調水平旋鈕，可以+-10°調節(jié)，精度0.1度
探針夾具線纜同軸線/三軸線/射頻線
漏電精度10pA/100fA/10fA
固定探針彈簧固定/管狀固定
接頭類型BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口
探針DC針尖直徑0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RF探針頻率40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz
材質鎢鋼/鈹銅/鍍鎳
外形720mm長*725mm寬*710mm高
重量約150千克
可選附件屏蔽箱                       防震桌
高壓測試配件                 探針卡夾具
激光系統(tǒng)                     鍍金卡盤
根據(jù)客戶要求定制