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QYH-8 /-12 高端探針臺

QYH-8 /-12 高端探針臺

QYH高端探針臺，最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試； 操作便捷，功能其全，高效精準(zhǔn) ； 可滿足晶片測試、光電器件測試、PCB/IC測試、射頻測試、高壓大電流測試等
特點(diǎn)/應(yīng)用

◆ 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試

 

◆ 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動

 

◆ 大手柄驅(qū)動，操作舒適，無回程差設(shè)計(jì)

 

◆ 針座平臺快速、微調(diào)升降功能

 

◆ 可搭配多種類型顯微鏡

 

◆ 晶片測試、光電器件測試、PCB/IC測試、射頻測試、高壓大電流測試等

 

◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)，可無縫升級

 

◆ 探針臺可根據(jù)客戶要求定制。

主要參數(shù)
高端探針臺主要參數(shù)
組件項(xiàng)目型號
QYH-8QYH-12
臺體Chuck尺寸8英寸12英寸
快速抽拉行程：110mm行程：150mm
水平旋轉(zhuǎn)可360度旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15度，精度0.1度，帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程8英寸*8英寸12英寸*12英寸
X-Y氣浮移動可360°氣浮移動，便于快速定位樣品
X-Y移動精度10um/lum
樣品固定真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺最多可放置8個(gè)探針座最多可放置10個(gè)探針座
平臺升降可快速升降6mm/可微調(diào)升降25mm
背電極測試樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
顯微鏡顯微鏡類型單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡
放大倍率16X-100X/20X-4000X
移動行程X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm
(Z軸可選氣動升降，便于快速進(jìn)行物鏡切換)
光源外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD200萬像素/500萬像素/1200萬像素
其他功能可加載激光器
探針座X-Y-Z移動行程12mm*12mm*12mm
移動精度10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um
吸附方式磁力吸附/真空吸附
DC調(diào)節(jié)點(diǎn)測角度0-30°
RF調(diào)節(jié)角度多點(diǎn)探頭調(diào)水平旋鈕，可以+-10°調(diào)節(jié)，精度0.1度
探針夾具線纜同軸線/三軸線/射頻線
漏電精度10pA/100fA/10fA
固定探針彈簧固定/管狀固定
接頭類型BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口
探針DC針尖直徑0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um
RF探針頻率40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz
材質(zhì)鎢鋼/鈹銅/鍍鎳
外形840mm長*600mm寬*700mm高950mm長*700mm寬*700mm高
重量約100千克約150千克
可選附件加熱臺屏蔽箱
高壓測試配件防震桌
激光系統(tǒng)探針卡夾具
射頻測試配件鍍金卡盤
光電測試配件
根據(jù)客戶要求定制