◆ 2至6英寸樣品臺
◆ 高真空腔體
◆ 防輻射屏設(shè)計,樣品溫度均勻性更好
◆ 77K-675K高低溫環(huán)境
◆ 兼容IV/CV/RF測試
◆ 外置多探針臂,移動行程大
◆ 經(jīng)濟實用,可無縫升級
組件 | 項目 | 型號 | |
QYGO-2 | QYGO-4 | ||
腔體 | 樣品臺尺寸 | 2英寸 | 4英寸 |
樣品固定 | 彈簧壓片 | ||
觀察窗口 | 2英寸 | 4英寸 | |
真空度 | 10-6torr | ||
探針臂接口 | 最多6個探針臂接口 | ||
其他接口 | 電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 | ||
制冷方式 | 液氮/液氦 | 制冷機 | |
控制方式 | 開循環(huán)手動 | 閉循環(huán)自動控制 | |
溫度范圍 | 77K~450K/4.5K~450K | 4.5K~450K | |
溫控分辨率 | 0.1K/0.01K/0.001K | ||
穩(wěn)定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K | ||
顯微鏡 | X-Y-Z移動行程 | 50mm*25mm*13mm | |
結(jié)構(gòu) | 外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu) | ||
移動精度 | 10um/lum | ||
光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 | ||
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 | ||
探針座 | X-Y-Z移動行程 | 50mm*25mm*13mm | |
結(jié)構(gòu) | 外置探針臂,真空波紋管結(jié)構(gòu) | ||
移動精度 | 10um/lum | ||
探針夾具 | 線纜 | 同軸線/三軸線/射頻線 | |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA | ||
固定探針 | 彈簧固定/螺絲固定 | ||
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子/射頻接口 | ||
探針 | 頻率支持 | DC-67GHZ | |
針尖直行 | 0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um | ||
材質(zhì) | 鎢鋼/鈹銅 | ||
真空組件 | 分子泵組/機械泵 | ||
冷源組件 | 50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機 | ||
外形 | 730mm長*750mm寬*1265mm高 | ||
重量 | 約100千克 |